深圳市廣思科技有限公司 tTiger光腔痕量分析儀 黃生 18676706083

TigeropticsHALO OK利用Tiger Optics公司連續(xù)波長(zhǎng)光腔衰蕩光

HALO OK痕量氧氣分析儀氣體與化學(xué)品煙氣排放能源半導(dǎo)體與LED 大氣實(shí)驗(yàn)室與生命科學(xué)HALO OK 專為痕量氧氣分析而設(shè)計(jì)：

 業(yè)界領(lǐng)先的ppt級(jí)別的檢測(cè)能力

 空前的響應(yīng)速度

 寬動(dòng)態(tài)范圍

 絕對(duì)測(cè)量（無(wú)需校準(zhǔn)氣體）

 很低的維護(hù)和極低的使用成本

 體積小，非常適合固定或移動(dòng)推車安裝

 在多組分氣體中直接測(cè)量

超高純氣體用戶的首選

在您的工藝過程出現(xiàn)問題之前，先檢測(cè)出氣體質(zhì)量

異常。使用Tiger Optics 的HALO OK 氧氣分析儀，

您可以以ppt 級(jí)別的精度、無(wú)漂移的穩(wěn)定性和瞬時(shí)響應(yīng)

來(lái)驗(yàn)證氧氣濃度水平。您會(huì)發(fā)現(xiàn)我們的系統(tǒng)非常容易安

裝，快速便捷并且易于維護(hù)，內(nèi)置零點(diǎn)驗(yàn)證功能。其堅(jiān)

固的設(shè)計(jì)-沒有活動(dòng)部件-使分析儀的平均故障間隔時(shí)間

提高，使用和維護(hù)成本極低。

HALO OK 氧氣分析儀憑借其專利的催化轉(zhuǎn)化技術(shù)，

通過微量的氫氣將氧氣清潔安全的轉(zhuǎn)化為水分，利用基

于激光的測(cè)量方法，可對(duì)您的工藝進(jìn)行連續(xù)質(zhì)量控制。

基于強(qiáng)大的光腔衰蕩光譜技術(shù)，HALO OK 符合用于氣

體系統(tǒng)水分干燥表征的SEMI F-112 標(biāo)準(zhǔn)。將HALO

OK 氧氣分析儀與ppt 級(jí)HALO KA 水分分析儀聯(lián)合使

用，同時(shí)對(duì)兩種關(guān)鍵污染物進(jìn)行分析，您將充分體會(huì)到

我們光腔衰蕩光譜技術(shù)（CRDS）的諸多優(yōu)勢(shì)。

HALO OK

痕量氧氣分析儀

性能外型尺寸高x 寬 x 深[（mm）]

工作范圍見下表標(biāo)準(zhǔn)分析儀8.73x19.0x23.6 (222x483x599)

檢出限（LDL，3σ/ 24h） 見下表

精確度（1σ，取大者） ±0.75％或LDL 的1/3 重量

準(zhǔn)確度（取大者） ±4％或LDL 標(biāo)準(zhǔn)分析儀45 lbs（20.4 kg）

響應(yīng)速度<3 分鐘至95％

環(huán)境條件10℃至40℃ 電路

相對(duì)濕度30％至80％（無(wú)凝液） 報(bào)警指示燈2 個(gè)用戶可編程

貯存溫度-10℃至50℃ 1 個(gè)系統(tǒng)故障

C 型繼電器

氣體處理系統(tǒng)和條件電源要求100−240 VAC，50/60 Hz

材料316L 不銹鋼功率最大450 W

10 Ra 表面光潔度信號(hào)輸出4-20 mA 隔離

泄漏測(cè)試1 x 10-9mbar l /s 用戶界面5.7 英寸液晶觸摸屏

氣體連接1/4”VCR 公頭10/100 Base-T 以太網(wǎng)

氣體入口壓力10-125 psig（1.7-9.6 bara） 802.11g 無(wú)線（選配）

氣體流速0.5 至1.8 slpm（取決于氣體） RS-232

樣氣多數(shù)惰性氣體Modbus TCP（選配）

氣體溫度最高60℃ 認(rèn)證CE MARK

氫氣供應(yīng)要求*,† 〜15 sccm，20−12 psig

氧氣分析性能測(cè)量范圍檢測(cè)極限‡(3σ) 零點(diǎn)精確度(1σ)

在氦氣中0-0.5 ppm 50 ppt 17 ppt

在氬氣中0-1 ppm 90 ppt 30 ppt

在氫氣中0-2 ppm 150 ppt 50 ppt

在氮?dú)庵?-2.5 ppm 200 ppt 70 ppt

在二氧化碳中§ 0-5 ppm 5000 ppt 300 ppt

如需測(cè)量其他分子或其他樣氣的信息或了解可選的吹掃機(jī)箱的信息，請(qǐng)聯(lián)系我們。

* 氫氣供應(yīng)（最大10 ppm 水和氧氣雜質(zhì)）需要通過催化轉(zhuǎn)化進(jìn)行樣氣處理。

†為提高安全性，可以使用3％氫氣/97％氮?dú)獾幕旌衔锾娲�純氫氣。此選項(xiàng)需要特殊的配置，必須在訂購(gòu)時(shí)澄清。

‡LDL 取決于樣氣的質(zhì)量和采樣系統(tǒng)的配置。

§需要特殊配置，必須在訂購(gòu)時(shí)澄清。