產品性能

該電源輸出功率可達2500W到5000W ，頻 率13.56MHz，標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩定、可重復等優點。其固態設計使得該產品價格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示：設定功率、入射功率、反射功率、狀態等參數，同時還可以顯示匹配器的運行參數并且通過電源面板可操作射頻匹配器。

應用對象

該電源可以作為射頻驅動等離子體系統的電源，該系統可應用于半導體工業。應用對象包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統。