1.   簡介 1.1. 產(chǎn)品簡介

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的高精度、高靈敏度檢測設(shè)備，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀采用高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，結(jié)合線性鏡組能實(shí)現(xiàn)0.5ppm精度的線性測量；結(jié)合相應(yīng)鏡組還能實(shí)現(xiàn)角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的測量，并進(jìn)行動態(tài)分析。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨力高等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對線性、角度、平面度、直線度（平行度）、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的精密測量，并能對設(shè)備進(jìn)行速度、加速度、頻率-振幅、時間-位移等動態(tài)性能分析。

在相關(guān)軟件的配合下，可自動生成誤差補(bǔ)償方案，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。

2.  功能特點(diǎn) 2.1. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)

      測量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨力可達(dá)納米級；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

      具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備運(yùn)動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時也能檢測運(yùn)動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。

      可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為機(jī)床誤差修正的提供依據(jù)。

      具有動態(tài)測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線) 及測量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動測量與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

      內(nèi)置國內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，含國標(biāo)(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標(biāo)、DIN(德標(biāo)) 、JIS(日標(biāo))共10份 。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

      可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

      測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。

      安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

3.1. 分析標(biāo)準(zhǔn)配置

激光干涉儀測量分析軟件支持以下檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)：

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